原子力顯微鏡是利用檢測樣品表面與細微的探針之間的相互作用力(原子力)測出表面的形貌。原子力顯微鏡可以檢測很多樣品,提供表面研究和生產(chǎn)控制或流程發(fā)展的數(shù)據(jù),這些都是常規(guī)掃描型表面粗糙度儀及電子顯微鏡所不能提供的。本文將會介紹關(guān)于它的特點以及應(yīng)用實例。
原子力顯微鏡的特點
1.高分辨力能力遠遠超過掃描電子顯微鏡(SEM),以及光學(xué)粗糙度儀。樣品表面的三維數(shù)據(jù)滿足了研究、生產(chǎn)、質(zhì)量檢驗越來越微觀化的要求。
2.非破壞性,探針與樣品表面相互作用力為10-8N以下,遠比以往觸針式粗糙度儀壓力小,因此不會損傷樣品,也不存在掃描電子顯微鏡的電子束損傷問題。另外掃描電子顯微鏡要求對不導(dǎo)電的樣品進行鍍膜處理,而原子力顯微鏡則不需要。
3.應(yīng)用范圍廣,可用于表面觀察、尺寸測定、表面粗糙測定、顆粒度解析、突起與凹坑的統(tǒng)計處理、成膜條件評價、保護層的尺寸臺階測定、層間絕緣膜的平整度評價、VCD涂層評價、定向薄膜的摩擦處理過程的評價、缺陷分析等。
4.軟件處理功能強,其三維圖象顯示其大小、視角、顯示色、光澤可以自由設(shè)定。并可選用網(wǎng)絡(luò)、等高線、線條顯示。圖象處理的宏管理,斷面的形狀與粗糙度解析,形貌解析等多種功能。
三、應(yīng)用實例
1.應(yīng)用于紙張質(zhì)量檢驗。
2.應(yīng)用于陶瓷膜表面形貌分析。
3.評定材料納米尺度表面形貌特征
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